负压切换单元
品牌：CKD 型号：MV3QR
分类：方向控制阀
产品特点
【无需真空破坏阀】
通过无正压的真空脱离，无需采取措施防止极小芯片被吹走。
无需繁琐地调整破坏压力、流量及定时。
不使用真空破坏阀，实现了精简化。
【占用空间最小化】
与以往的带破坏单元相比，安装面积减少44％，重量减少53%，最适用于制造装置的小型化。
即使在极小空间也可安装，装置设计的自由度更高。
通过轻量化，便于安装在装置可动部。
【可配备压力传感器】
单元中配备真空用压力传感器，外形更小巧。
负压检测也实现省空间。
采用U形卡销固定压力传感器，提高可维护性。
【可安装真空用过滤器】
配管过程中无需安装过滤器。
真空用过滤器采用快插式更换。
规格一览
| 型号 | 名称 | 配管口径 | 备注 |
|---|---|---|---|
| MV3QRA | 直接配管 | M5，快插接头Φ4, Φ6 | |
| MV3QRB | 底板配管 | M5，快插接头Φ4, Φ6 |
